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第五十二章 投身科研此生无悔（第1页）

六月中旬，蓉城，华科院光电技术研究所，这里是华夏光刻机项目研发的主要科研单位之一。

“哈哈，财神爷到了，快里面请！”

倪院士刚下车，罗所长热情的招呼道。

倪院士最近绝对称的上华科院的“福星”

，仗着自己资格老，资金充沛，接连造访了春城光电精密机械研究所，沈城自动化研究所，江城物理研究所……

倪院士对每个研究所做过专门的功课，涉及到华夏的重大项目他不参与，一门心思的盯着缺少科研经费的研究所，在其中寻找适合与大秦科技合作研发的部门。

各个研究所只有两个选择，要么和大秦科技合作一起玩，要么人被带走，如今倪院士的恶名流传在整个华科院，华夏工程院的圈子里。

研究所方面相当无奈，打不得骂不得，不想合作倪院士就挖人，要是不想被挖人也好办，给那个部门充足的经费，一般人是不会放弃华科院的工作跟倪院士走的，关键是研究所没经费啊！

研究经费充足的研究所倪院士也不去，就挑穷的欺负。

倪院士连忙回应：“罗所长，好几年没见了，身体还好吧？”

罗所长苦笑道：“本来挺好，知道你要来就不太好了，说说，看上谁了？”

倪院士满脸笑容，人老心不老的搓了搓手，“哪的话，合作，我是来合作的！

一切为了华夏嘛，挖人像什么话。”

罗所长就差把鄙夷二字写在脸上了，心里暗叹：MD，有钱真好。

一群人进入会议室，罗所长率先开口，“开门见山吧，能来的研究组负责人都在这了，不能来的你也别惦记，规矩我就不多说了。”

倪院士笑道：“懂，绝对不让你为难，这次来主要是激光器输出功率，重复频率，曝光能量，离轴照明，相移掩模等十三个小项目的合作研发，罗所长，没问题吧。”

下面涉及到的人脸色激动，有钱啦，终于有钱啦。

实话说，科研人员真的是旱的旱死，涝的涝死，缺少科研经费的科学家不在少数。

而大秦科技只要技术和专利，学术成果和论文是他们的，这可是为他们科研地位添砖加瓦的大好事。

光刻机的构造，一般分为：照明系统（光源+产生均匀光的光路），工作台系统，镜头组，搬送系统，校准系统。

另外半导体光刻机的工作温度必须保持在23度，所以要保证晶圆在恒温和无尘的环境。

光刻机的原理就是用光来投射到工作台上产生衍射，然后镜头收集到光汇聚到晶圆上，形成图形，所以光是产生图形的必要条件。

准分子激光器扫描步进投影光刻机最关键的三项技术指标是：光刻分辨率、套刻精度和产能。

光刻分辨率和套刻精度这里先不表，提高产能则是光刻机实现产业化的必要条件。

为了提高生产效率，必须优化设计激光器输出功率、重复频率、曝光能量控制、同步扫描等各个技术环节。

倪院士与光电技术研究所的项目，就是提高产能和工艺方面的的十几个小模块。

由于大秦科技把光刻机，蚀刻机等项目分解成上千个子项目，所以合作的各个研究所都分得了一些合适的项目。

这也算是一种另类的举国之力，大秦科技除了研发几个核心模块，统筹协调之外，剩余的工作就是砸研发资金了。

如此一来，既与各个科研单位互惠互利，保持了良好的关系，又加快了半导体设备的研发速度，一举两得。

别看罗所长别别扭扭的，他对于倪院士的到来可谓满心欢喜，就是心中有些羡慕嫉妒罢了。

罗所长扭头瞅了下面的科研人员一眼，“行吧，还是按照长光所那边的规矩？”

倪院士点点头，“是的，不过你们这还有些“闲人”

给我如何，你也知道我下面还有个智能设备研发部，哎，缺人啊！”

罗所长心里不知道吐槽了多少句？不过他也知道倪院士很识趣，不会让他为难，递过来的名单看都没看，有气无力的说了句，“你派人接触吧，总不能让我给你送过去吧。”

“哪能呢，我稍后就派人接触，对了，福利名单准备好没？”

下面众人眼睛一亮，期待的看着罗所长，罗所长觉得有些丢人，干咳了一声，“准备好了，等下交给你。”

何谓福利名单，这是许道微的发明，全称华夏高级科研人员民间福利补贴制度名单。

也可以理解为公开的好处费。

每一个与大秦科技公司合作的研究所，其中的人才，无论是否加入双方的合作项目，大秦科技都会发放无偿补贴一万元，用于补贴科研人才的生活。